Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Prozeßkontrolle durch Rückstreuelektronen
:
Schiller, S.
;
Panzer, S.
;
Ardenne, T. von
ZIS-Mitteilungen 19 (1977), No.2, pp.238-248
ISSN: 0044-1465
German
Journal Article
Fraunhofer FEP
(
)
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30204.html