Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Prozeßkontrolle durch Rückstreuelektronen

 
: Schiller, S.; Panzer, S.; Ardenne, T. von

ZIS-Mitteilungen 19 (1977), No.2, pp.238-248
ISSN: 0044-1465
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30204.html