Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Der Einfluß der Elektronenrücksteuerung auf die Genauigkeit der nichtthermischen Elektronenstrahlbearbeitung

 
: Schiller, S.; Neumann, M.

Experimentelle Technik der Physik 18 (1970), No.6, pp.417-427
ISSN: 0014-4924
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30197.html