Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Der Einfluß der Elektronenrücksteuerung auf die Genauigkeit der nichtthermischen Elektronenstrahlbearbeitung
| Experimentelle Technik der Physik 18 (1970), No.6, pp.417-427
ISSN: 0014-4924 |
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| German |
| Journal Article |
| Fraunhofer FEP () |