Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Hochrate-Sputtertechnik und deren Einsatz in verschiedenen Industriezweigen

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.

Vakuum-Technik 37 (1988), No.6, pp.162-175
ISSN: 0042-2266
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30182.html