Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

In-situ-Monitoring und Regelung mittels Analyse der optischen Plasmaemission

 
: Kirchhoff, V.; Schulze, M.

Aul, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf; Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn:
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Düsseldorf: VDI Technologiezentrum, 1995
pp.316-323
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien <1995, Mainz>
German
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30169.html