Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reaktives DC-Plasmatron-Sputtern

 
: Heisig, U.; Schiller, S.; Beister, G.; Strümpfel, J.; Reschke, J.; Korndörfer, C.

Schwenke, W. ; Physikalische Gesellschaft der Deutschen Demokratischen Republik:
9. Tagung Hochvakuum, Grenzflächen, Dünne Schichten 1988. Beiträge. Bd.1 : 15.-17. Februar in Dresden
Dresden: Physikalische Ges. d. DDR, 1988
pp.65-70
Tagung Hochvakuum, Grenzflächen, Dünne Schichten <9, 1988, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30166.html