Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

High-rate sputtering with a torus plasmatron

Hochrate-Zerstäuben mit dem Torus-Plasmatron VI
 
: Heisig, U.; Goedicke, K.; Schiller, S.

Bakish, R. ; Electrochemical Society -ECS-:
Symposium on Electron and Ion Beam Science and Technology 1976. Proceedings : Seventh international conference
Pennington: Electrochemical Society, 1976
pp.129-141
Symposium on Electron and Ion Beam Science and Technology <7, 1976, Washington/DC>
English
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30165.html