Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Alternating ion plating - a method of high-rate ion vapor deposition

 
: Goedicke, K.; Schiller, S.; Heisig, U.

Journal of vacuum science and technology 12 (1975), No.4, pp.858
ISSN: 0022-5355
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30161.html