Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasma-Emissions-Monitorierung beim reaktiven DC-Magnetron-Sputtern

 
: Schiller, S.; Heisig, U.; Strümpfel, J.

Kieser, J.:
Deutsche Tagung Plasmatechnologie 1991 : Dresden, 4. und 5. April 1991
Dresden, 1991
pp.74
Deutsche Tagung Plasmatechnologie <1991, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30139.html