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Konferenzschrift
Großflächige Oberflächenfunktionalisierung von Kunststofffolien-Vorbehandlungsquellen für Bedampfungs- und Sputteranlagen
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2003
Conference Paper
Titel
Großflächige Oberflächenfunktionalisierung von Kunststofffolien-Vorbehandlungsquellen für Bedampfungs- und Sputteranlagen
Author(s)
Lindner, T.
Rank, R.
Hauptwerk
NDVaK. 11. Neues Dresdner Vakuumtechnisches Kolloquium
Konferenz
Neues Dresdner Vakuumtechnisches Kolloquium (NDVak) 2003
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP