Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Dual Magnetron Sputter System as dc cathode - an investigation of its electrical properties

 
: Krause, U.; Rettich, T.; Wiedemuth, P.

Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
European Workshop on Pulsed Plasma Surface Technologies, PPST Europe '02. CD-ROM : June 5th - 7th 2002, Dresden, Germany
Dresden: FEP, 2002
European Workshop on Pulsed Plasma Surface Technologies (PPST Europe) <2002, Dresden>
English
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30076.html