Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reaktives DC-Hochrate-Sputtern von SnO2 mittels PEM-Regelung

 
: Kirchhoff, B.; Melde, C.; Schneider, S.; Nedon, W.; Vetters, P.; Schicht, H.; Schmidt, U.

Schwenke, W. ; Physikalische Gesellschaft der Deutschen Demokratischen Republik, Arbeitsgruppe Mikrosonde:
10. Tagung Hochvakuum, Grenzflächen, Dünne Schichten 1990. Beiträge. Bd.2 : 19.-21. März in Dresden
Dresden: Physikalische Ges. d. DDR, 1990
pp.306-307
Tagung Hochvakuum, Grenzflächen, Dünne Schichten <10, 1990, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30066.html