Fraunhofer-Gesellschaft

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In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputtern

BMFT-Fördervorhaben 13 N 6162 ; Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.06.1993 - 31.08.1994
 
: Kirchhoff, V.
: Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden

Dresden: FEP, 1994, 21, [2] Bl.
Reportnr.: 13 B 6162
German
Report
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-30014.html