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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Modellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannern
 
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2013
Conference Paper
Title

Modellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannern

Author(s)
Schroedter, Richard
TU Dresden
Roth, Matthias
TU Dresden
Sandner, Thilo  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Janschek, Klaus
TU Dresden
Mainwork
Fachtagung Mechatronik 2013  
Project(s)
TACO  
Funder
European Commission EC  
Conference
Fachtagung Mechatronik 2013  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
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