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Verfahren zur Herstellung von mechanischen Anschlägen zur Selbstjustage und Vorrichtung mit Anschlägen zur Selbstjustage

METHOD FOR PRODUCING MECHANICAL STOPS FOR SELF-ALIGNMENT AND DEVICE COMPRISING STOPS FOR SELF-ALIGNMENT
 
: Oppermann, Hermann; Jordan, Rafael; Glaw, Veronika; Mukhopadhyay, Biswajit

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Frontpage ()

DE 102010019488 A: 20100505
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von mechanischen Anschlägen zur Selbstjustage und eine Vorrichtung mit Anschlägen zur Selbstjustage. Das Verfahren umfasst Trockenätzenzur Herstellung von mindestens einem horizontalen Anschlag (8) und mindestens einem vertikalen Anschlag (4). Auf dem strukturierten ersten Substrat (1) wird mindestens ein Kontakt (3) aus schmelzbarem Material abgeschieden und umgeschmolzen. Ein zweites Substrat (2) mit mindestens einem zweiten Kontakt aus einem mit dem schmelzbaren Material des ersten Kontakts (3) verbindbaren Material wird auf dem ersten Kontakt platziert. Anschliessend findet eine Selbstjustage der beiden Substrate (1, 2) dadurch statt, dass sich der mindestens eine umgeschmolzene Kontakt (3) derart einstellt, dass die Grenzflächenenergie minimiert wird.

 

The present invention relates to a method for producing mechanical stops for self-alignment, and to a device comprising stops for self-alignment. The method comprises dry etching and anisotropic etching of a first substrate (1) in order to produce at least one horizontal stop (8) and at least one vertical stop (4). At least one contact (3) composed of fusible material is deposited on the structured first substrate (1) and remelted. A second substrate (2) having at least one second contact composed of a material that can be connected to the fusible material of the first contact (3) is positioned on the first contact. Self-alignment of the two substrates (1, 2) subsequently takes place by virtue of the at least one remelted contact (3) being established in such a way that the interface energy is minimized.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-297841.html