Fraunhofer-Gesellschaft

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Systematische Messfehler bei der Formprüfung mittels Computer-generierter Hologramme

 
: Stürwald, S.; Asfour, J.-M.; Schmitt, R.

Photonik 46 (2014), No.2, pp.30-33
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Zur Erweiterung des Messbereiches in der Formprüfinterferometrie sind bei Asphären als auch Freiformoptiken Computer-generierte Hologramme (CGHs) erforderlich. Bei der Verwendung von CGHs ist die optimale Justage jedoch nicht immer eindeutig für den Benutzer bestimmbar und geringe Dejustagen können zu systematischen Messfehlern führen. Die vitruell unterstützte Optimierung der Positionierung sowie der der Abzug des Restfehlers können den am stärksten hervortretenden Fehler eines erhöhten Koma-Wertes reduzieren. Insgesamt ist dies jedoch mit mehreren Wiederholmessungen in unterschiedlichen Positionen durchzuführen, damit Algorithmen zur virtuellen Positionskorrektur mit hinreichender Sicherheit konvergieren und der Fehlerabzug die reale Form der Prüflings möglichst reproduziert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-290714.html