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Konferenzschrift
PVD. High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)
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2013
Conference Paper
Titel
PVD. High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS)
Author(s)
Bandorf, R.
Hauptwerk
PVD- und CVD-Beschichtungsverfahren für tribologische Systeme
Konferenz
Fachforum "PVD- und CVD-Beschichtungsverfahren für tribologische Systeme" 2013
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST