Fraunhofer-Gesellschaft

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Laserdiodenspektroskopie zur Gasspurenuntersuchung

 
: Grählert, Wulf; Beese, Harald

Blau, Winfried (Programmkomitee) ; Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten -EFDS-:
Analyse von Spurenverunreinigungen auf Oberflächen und in Gasen : Workshop am 3. Dezember 2013 in Dresden. Tagungsband
Dresden: EFDS, 2013
12 pp.
Workshop "Analyse von Spurenverunreinigungen auf Oberflächen und in Gasen" <2013, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWS ()
Halbleiterlaser; Absorptionsspektrometrie; Laserspektrometrie; Spurengasanalyse

Abstract
Folienpräsentation. Die Laserdiodenspektroskopie stellt als optisches Messverfahren einen langzeitstabilen, wartungsarmen "Volumensensor" für die Gasanalyse dar. Das Verfahren ist hochselektiv, einfach und schnell, besitzt einen großen Dynamikbereich (% bis ppm) und weist Nachweisgrenzen bis unter ppb auf. So betragen die Nachweisgrenzen für O2 100 ppm.m, für CO2 30 ppm.m und für HF 0,03 ppm.m. Neben der Analytkonzentration können auch Gastemperatur, Gasgeschwindigkeit, Partikelgehalt, Absolutdruck und Isotopenverteilung ermittelt werden. Arbeitsbeispiele betreffen den Nachweis von Spurenverunreinigungen in Reinstgasen und die Bestimmung der Permeationsrate von Ultrabarrierematerialien, die z. B. in der Lebensmittelindustrie, bei Vakuum-Isolationspaneelen oder bei organischen LED Verwendun g finden. Eine besondere Anwendung der Laserspektroskopie stellt die spektroskopische Tomographie zur ortsaufgelösten Ermittlung der Konzentrationsverteilung von Einzelkomponenten in einem Gasraum dar. Hier wirkt sich in besonders positivem Maße die geringe Strahldivergenz der Laserdiode aus.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-287482.html