Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optische Verformungsmessungen an Mikrosystemen bei extremen Temperaturdifferenzen

 
: Fratz, Markus; Carl, Daniel; Zeiser, Roderich; Berndt, Michael

Photonik 45 (2013), No.6, pp.34-37
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IPM ()
optische Messtechnik; Fertigungstechnik

Abstract
Die dynamische Messung schneller mikroskopischer Verformungen unter starken thermischen Belastungen stellt eine erhebliche technische Herausforderung dar. An einer Lösung besteht in vielen Bereichen der Industrie großes Interesse. Wir beschreiben im Folgenden ein erfolgreich umgesetztes Konzept zum Aufbau eines geeigneten Messsystems.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-283635.html