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Methoden der 3D-Datenauswertung für die hochauflösende Bauteilmessung

Hochauflösende Oberflächenerzeugung und Regelgeometrieeinpassung
 
: Effenberger, Ira; Kroll, Julia

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2013 : 5. VDI/VDE-Fachtagung; normgerechte Auswertung, Charakterisierung und Tolerierung von Rauheit und Mikroformelementen; Nürtingen, 23. und 24. Oktober 2013
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2013 (VDI-Berichte 2194)
ISBN: 978-3-18-092194-5
pp.83-92
Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik <5, 2013, Nürtingen>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
3D-Datenauswertung; Computertomographie; optische Messtechnik; computer tomography; Oberflächengeometrie; Messen; Bauteil; Genauigkeit

Abstract
Mikroformelemente und Bauteile mit kleinen Toleranzen treten in einer Vielzahl komplexer Systeme auf und haben großen Einfluss auf deren Funktion und Gesamtqualität. Um hier eine angemessene Qualitätssicherung gewährleisten zu können, bedarf es hochauflösender Messmethoden und einer geeigneten 3D-Datenauswertung. In dieser Arbeit werden die Möglichkeiten und Anforderungen an die röntgenbasierte Computertomographie (CT) einzeln und in Kombination mit optisch-taktiler Sensorik näher beleuchtet und am Beispiel eines mikro-mechatronischen Bauteils aufgezeigt. Dies beinhaltet die notwendigen Schritte zur Datenauswertung von der Oberflächenfindung bis zur geometrischen Datenauswertung, welche für eine optimale Formanalyse mittels CT notwendig sind.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-283521.html