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Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Messung

Interferometric method for measuring spaces uses an interferometer to separate a source beam for a source of light emitting short-coherent or incoherent light into reference and measuring beams.
 
: Depiereux, F.; Bosbach, C.; Michelt, B.

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DE 2003-10317826 A: 20030416
DE 2003-10317826 A: 20030416
DE 10317826 A1: 20041118
G01B0011
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung. Mittels einer ersten Interferometereinheit (7) wird ein Quellstrahl einer kurzkohaerentes oder inkohaerentes Licht emittierenden Lichtquelle (1) in einen Referenzlichtstrahl und einen Messlichtstrahl aufgeteilt. Referenzlichtstrahl und Messlichtstrahl werden in einer zweiten Interferometereinheit (10) jeweils in zwei Teilstrahlen aufgeteilt, wobei einer der Referenzlichtteilstrahlen und einer der Messlichtteilstrahlen einen ersten Strahlengang (12) durchlaufen und dabei an einem Stufenkoerper (16) reflektiert werden. Die optische Wegstrecke im ersten Strahlengang (12) haengt vom Ort der Reflexion auf dem Stufenkoerper (16) ab. Der andere Referenzteilstrahl und der andere Messlichtteilstrahl durchlaufen einen zweiten Strahlengang (11) der zweiten Interferometereinheit. Saemtliche Teilstrahlen werden einem Detektor (15) zugefuehrt, wobei die Position der Abbildung einer zwischen Referenzlichtstrahl und Messlichtstrahl auftretenden Messinterferenz in der Abbildung des Stufenkoerpers auf dem Detektor (15) zur Messung herangezogen wird. Die Neuerung besteht darin, den Stufenkoerper (16) derart anzuordnen, dass eine durch Reflexion an der Reflexionsflaeche (20) einer Kalibrierstufe (15) erzeugte optische Kalibrierwegstrecke im ersten Strahlengang (12) mit der optischen Wegstrecke im zweiten Strahlengang (11) exakt uebereinstimmt und die Kalibrierstufe (19) ebenfalls optisch auf das ...

 

DE 10317826 A UPAB: 20041216 NOVELTY - Reference and measured beams of light split into two sub-beams. One reference and one measured sub-beam trace a first beam path (FBP) (12) to be reflected on a stepped body (SB) (16). Optical distance in the FBP depends on point of reflection on the SB. Second reference and measured sub-beams trace a second beam path (11) in a second interferometer. All sub-beams are fed to a detector (15). DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for interferometric measurement. USE - For measuring spaces between objects by optical scanning onto a detector's image sensor field as well as topographies and deep profiles. ADVANTAGE - The scanning position of measured interference between reference and measured beams of light is turned into measurement in scanning the stepped body on the detector. The stepped body is arranged so that an optical calibrating distance in the first beam path created by reflection on a reflective surface (20) exactly matches an optical distance in the second beam path.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-28276.html