High resolution acoustical methods: Micro- and nano-materials applications

Die Charakterisierung von Defekten mit Mikro- und Nanometer-Ausdehnung, die ortsabhängige Bestimmung von Werkstoffeigenschaften sowie die Messung von lokalen Dehnungen und Verformungen sind kritisch für die Vorhersage der Zuverlässigkeit und Lebensdauer von Schichtsystemen, mikroelektronischen und mikromechanischen Systemen und nanostrukturierten Werkstoffen. Mikroskopische, zerstörungsfreie Evaluierungsverfahren sind in der Lage, oberflächennahe Fehlstellen mit Nanometerausdehnung zu erkennen, lokale Werkstoffvariationen zu messen und die Werkstoffdegradation zu bestimmen. Dieser Beitrag diskutiert hochauflösende akustische bildgebende Techniken und deren Potential zur Lösung o. g. Aufgaben.

Characterization of defects with micro- and nanometer sizes, local variations in materials properties, and localized strains and deformations are critical for predicting the reliability of layer systems, microelectronic devices, MEMS and nano-structured material systems. Microscopic nondestructive evaluation methods are capable of detecting near surface defects of nanometer size. Local material property variations can be measured with nanometer resolution. Localized material degradation can be studied. This paper will discuss high resolution acoustic imaging techniques and the potential to solve the above tasks.