Fraunhofer-Gesellschaft

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Konzeptioneller Bauelemententwurf eines quasistatischen Mikroscanners mit Hybrid-Antrieb und großer Spiegelapertur zur hochdynamischen und präzisen zweidimensionalen Strahlpositionierung

 
: Kimme, Simon
: Sandner, Thilo

Dresden, 2013, 100 pp.
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2013
German
Thesis
Fraunhofer IPMS ()
Mikroscanner; Hybridtechnik

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-280089.html