Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Degree of integration enhancement of membrane actuators in LOCs utilizing laser technology

 
: Geidel, S.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM : Von Bauelementen zu Systemen; 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
Berlin: VDE-Verlag, 2013
ISBN: 978-3-8007-3555-6
ISBN: 3-8007-3555-5
pp.717-720
MikroSystemTechnik Kongress <2013, Aachen>
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Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-279280.html