Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reinraumtaugliche Werkstoffe

Test- und Klassifizierungsverfahren
Cleanroom suitable materials - Verification and classification methods
 
: Gommel, U.

wt Werkstattstechnik online 95 (2005), No.3, pp.150-155
http://www.technikwissen.de/wt/
ISSN: 1436-4980
ISSN: 1436-5006
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; Mikrosystemtechnik; cleanroom; cleanroom suitability; Reinraum; Werkstoff; Klassifizieren; Mikrosystem

Abstract
Um die Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für konta minationsempfindliche Mikrosysteme zu unterstützen, werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien geachtet wird. Diesem Umstand wird mit einem standardisierten Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengewirkt.

 

To support the industry in the construction of equipment for contamination sensitive micromechanical systems, there is a need for cleanroom-suitable materials. To date there are no lists of materials available worldwide. As a result, equipment manufacturers are forced to select cleanroom- suitable materials purely from a visual point of view which have not been scientifically proven. This gap shall be closed by standardized tests methods for evaluating the cleanroom suitability of materials.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-27478.html