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2005
Journal Article
Titel
Reinraumtaugliche Werkstoffe
Titel Supplements
Test- und Klassifizierungsverfahren
Alternative
Cleanroom suitable materials - Verification and classification methods
Abstract
Um die Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für konta minationsempfindliche Mikrosysteme zu unterstützen, werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien geachtet wird. Diesem Umstand wird mit einem standardisierten Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengewirkt.
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To support the industry in the construction of equipment for contamination sensitive micromechanical systems, there is a need for cleanroom-suitable materials. To date there are no lists of materials available worldwide. As a result, equipment manufacturers are forced to select cleanroom- suitable materials purely from a visual point of view which have not been scientifically proven. This gap shall be closed by standardized tests methods for evaluating the cleanroom suitability of materials.