1999
Book
Title

Untersuchungen zur Abscheidung von Diamantschichten hoher Qualität bei tiefen Temperaturen im Hot-Filament CVD Verfahren

Title Supplement
Abschlußbericht Di 55/1-3
Author(s)
Kröger, R.
Schäfer, L.
Klages, C.-P.
Hampel, A.
Xiang, X.
Morel, C.
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig
Publishing Place
Braunschweig
Language
German