Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Werkstofftrends: Lithographieverfahren

 
: Notthoff, C.; Kohlhoff, J.; Reschke, S.; Kretschmer, T.

Werkstoffe in der Fertigung (2004), No.6, pp.3
ISSN: 0176-6058
ISSN: 0939-2629
German
Journal Article
Fraunhofer INT ()
Lithographieverfahren; Überblick; Entwicklungstrend; lithography; synopsis; technological trend

Abstract
Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Lithographieverfahren zur Strukturierung von Oberflächen. Behandelt werden sowohl parallele Prozesse als auch serielle Verfahren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-27139.html