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Mikromechanischer Schalter

Micromechanical switch
 
: Lebedev, Vadim; Cimalla, Volker

:
Frontpage ()

DE 102011085566 A1: 20111102
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IAF ()

Abstract
Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Schalter (1) mit einem Substrat (100), auf welchem zumindest ein erstes Kontaktelement (101) und zumindest ein zweites Kontaktelement (102) angeordnet ist, wobei zumindest eines der Kontaktelemente (101, 102) bewegbar ist, so dass die Kontaktelemente (101, 102) von einer Kontaktstellung in eine Trennstellung bringbar sind, wobei die Kontaktelemente (101, 102) in der Kontaktstellung einen ersten Abstand (g) voneinander aufweisen und in der Trennstellung einen zweiten Abstand (G) voneinander aufweisen, wobei der zweite Abstand (G) grösser ist als der erste Abstand (g).

 

The invention relates to a micromechanical switch (1) having a substrate (100) on which at least one first contact element (101) and at least one second contact (102) are arranged, wherein at least one of the contact elements (101, 102) can be moved, with the result that the contact elements (101, 102) can be moved from a contact position to a disconnected position, wherein the contact elements (101, 102) are at a first distance (g) from one another in the contact position and are at a second distance (G) from one another in the disconnected position, wherein the second distance (G) is greater than the first distance (g) and the first distance (g) is approximately 10 nm to approximately 200 nm.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-270843.html