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Verfahren zum Erzeugen einer Honeycomb-Textur an einer Oberfläche eines Substrates

METHOD FOR GENERATING A HONEYCOMB TEXTURE ON A SUBSTRATE SURFACE
 
: Nievendick, Jan; Specht, Jan; Zahner, L.; Rentsch, J.; Biro, D.; Stüwe, D.

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Frontpage ()

DE 102011111511 A1: 20110831
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer Honeycomb-Textur an einer Oberfläche eines Substrates, welches Substrat ein Halbleitersubstrat einer photovoltaische Solarzelle oder einer Vorstufe im Herstellungsprozess einer photovoltaischen Solarzelle oder ein Substrat zur Verbesserung der optischen Eigenschaften einer oder mehrere photovoltaischer Solarzellen ist, folgende Verfahrensschritte umfassend:; A Bereitstellen des Substrates, B Erzeugen einer Maskierungsschicht auf der Oberfläche des Substrates, welche Maskierungsschicht eine Mehrzahl von Öffnungen aufweist, C Ätzen des Substrates zumindest an den Öffnungsbereichen der Maskierungsschicht an der Oberfläche des Substrates zur Ausbildung einer Honeycomb-Textur und D Entfernen der Maskierungsschicht, Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass in Verfahrensschritt B die Maskierungsschicht durch Aufbringen eines Maskierungsmaterials auf die Oberfläche des Substrates erzeugt wird, wobei eine Vielzahl einzelner Tropfen des Maskierungsmaterials derart aufgebracht werden, dass die Mittelpunkte der Tropfen die Eckpunkte eines Wabengitters bilden.

 

The invention relates to a method for generating a honeycomb texture on a surface of a substrate, said substrate being a semiconductor substrate of a photovoltaic solar cell, or a preliminary stage in the production process of a photovoltaic solar cell, or a substrate for improving the optical properties of one or several photovoltaic solar cells, the method comprising the following steps: A) providing the substrate; B) generating a masking layer on the surface of the substrate, said masking layer having a plurality of openings; C) etching the substrate at least at the opening areas of the masking layer on the surface of the substrate for generating a honeycomb texture; and D) removing the masking layer. The invention is characterized in that in method step B), the masking layer is generated by way of applying a masking material to the surface of the substrate, wherein a plurality of individual drops of the masking material are applied such that the centers of the drops form the corners of a honeycomb.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-270781.html