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Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik

 
: Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-2670524 (3.2 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 1e6cd51bfef5434631b03edcda4d517d
Created on: 26.11.2013


Reinraum printline (2013), No.2, pp.4-9
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
technische Sauberkeit; Reinheitskontrolle; Sauberkeitsanalyse; Reinheitstechnik; VDA 19; VDA 19.2; Reinraum; Automobilindustrie; Medizintechnik

Abstract
Bei den in der Halbleiterindustrie hergestellten Integrierten Schaltungen mit Strukturbreiten von aktuell bis zu 22 nm erschließt sich das hohe Maß an erforderlicher partikulärer Reinheit unmittelbar. Die partikuläre Reinheit, also das Nichtvorhandensein kritischer Partikel im Mikrometerbreich, ist aber auch für zahlreiche andere Produkte unterschiedlicher Branchen ein wichtiges Qualitätsmerkmal, angefangen von der Automobilindustrie, über die Raumfahrt bis hin zur Life-Science-Industrie wie der Medizintechnik. Die Gründe hierfür sind ebenso vielfältig wie die Produkte und reichen von Steigerung der Leistung, Miniaturisierung, Zuverlässigkeit und Haltbarkeit über gesetzliche Anforderungen bis hin zum Schutz von Mensch und Gesundheit.
Die Größenbereiche, in denen Partikel für ein Produkt kritisch werden und somit reglementiert werden müssen, mögen von Produkt zu Produkt variieren, dennoch gibt es sich überschneidende Fragestellungen, wie z. B. nach dem Sauberkeitszustand des Produkts und der Identifizierung von Partikelquellen in der Produktion. Zur Klärung dieser Fragestellungen stehen unterschiedliche Methoden zur Sauberkeitsanalyse zur Verfügung, die grundsätzlich universal eingesetzt werden können.
Am Beispiel der Automobilindustrie werden Ansätze zur Bestimmung des Sauberkeitszustands nach VDA Band 19 bzw. ISO 16232 und zur Identifizierung von funktionskritischen Partikelquellen nach VDA Band 19.2 vorgestellt. Es wird gezeigt, dass diese Vorgehensweisen aus dem Automobilbereich dabei auch auf kontaminationssensitive Medizintechnikprodukte, für die es bisher keine verbindliche und spezifisch angepasste Vorgehensweise zur Überprüfung des partikulären Sauberkeitszustands gibt, angewendet werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-267052.html