Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

LTCC Membrane mit integrierter Heizern, Temperatur- und Dehnungssensorik

LTCC membrane with integrated heaters, temperature sensors and strain gauges
 
: Gutzeit, Nam; Appelfelder, Michael; Reinlein, Claudia; Fischer, Michael; Müller, Jens

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM : Von Bauelementen zu Systemen; 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
Berlin: VDE-Verlag, 2013
ISBN: 978-3-8007-3555-6
ISBN: 3-8007-3555-5
pp.279-282
MikroSystemTechnik Kongress <2013, Aachen>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-266506.html