Fraunhofer-Gesellschaft

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Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren

 
: Kleindienst, R.; Cimalla, V.; Eickhoff, M.; Grewe, A.; Holc, K.; Schätzle, J.; Schörmann, J.; Schwarz, U.T.; Teubert, J.; Sinzinger, S.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM : Von Bauelementen zu Systemen; 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen
Berlin: VDE-Verlag, 2013
ISBN: 978-3-8007-3555-6
ISBN: 3-8007-3555-5
pp.464-467
MikroSystemTechnik Kongress <2013, Aachen>
German
Conference Paper
Fraunhofer IAF ()

Abstract
In diesem Beitrag stellen wir die Mikro-Nano-Integration eines opto-chemischen Sensors zur Detektion oxidierender und reduzierender Gase basierend auf III-N-Nanodrahtheterostrukturen vor. Der Optikdesignansatz zur effizienten Formung der Anregungsstrahlung wird ebenso wie die hochpräzise Fertigung der miniaturisierten Integrationsplattform erläutert. Nach Charakterisierung des optischen Mikrosystems, werden die elektro-optischen Komponenten und die Nanodrahtheterostrukturen integriert, um den Sensor hinsichtlich seiner Gasdetektionseigenschaften zu untersuchen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-265038.html