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Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium

 
: Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie -IISB-, Erlangen

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-2649787 (6.0 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 852872a44a294fc88248327b7dc55a79
Created on: 1.11.2013


Erlangen, 2013, 17 pp.
German
Study, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()
Ablenkung von Lichtstrahlen; optisches Muster; spiegelnde Oberflächen; Ebenheit; Qualitätssicherung; Unebenheiten; quantitative Ablenkungsmessung; quantitative Neigungsmessung

Abstract
Die vorliegende Veröffentlichung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium, bei dem ein Oberflächenbereich eines Objekts oder ein Bereich des Mediums mit wenigstens einem optischen Muster beleuchtet wird und an dem Oberflächenbereich reflektierte oder durch den Oberflächenbereich oder den Bereich des Mediums hindurchgetretene Beleuchtungsstrahlen mit einem ortsauflösenden optischen Detektor erfasst werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-264978.html