Fraunhofer-Gesellschaft

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Chemische Dampfphasenabscheidung von neuen Materialien für Sub-50-nm-Transistoren

Chemical vapor phase precipitation of new materials for sub 50 nm transistors
 
: Frey, L.; Bauer, A.; Ryssel, H.

:

Chemie- Ingenieur- Technik 77 (2005), No.8, pp.1215-1216
ISSN: 0009-286X
German
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-263058.html