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Miniaturisierung von Komponenten und Bauteilen im Maschinenbau

Miniaturisation of components and parts in mechanical engineering

	Gesellschaft für Fertigungstechnik: Stuttgarter Impulse: Technologien für die Zukunft. FTK 2000 : Schriftliche Fassung der Vorträge zum Fertigungstechnischen Kolloquium am 26./27. September 2000 in Stuttgart Berlin: Springer, 2000 ISBN: 3-540-67984-7 pp.34-62
	Fertigungstechnisches Kolloquium (FTK) <11, 2000, Stuttgart>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Nanomeßtechnik; Nanotechnik; metrology; tolerance; miniaturisation; nanotechnology; Funktionsintegration; function integration; Toleranz; Messen; Miniaturisierung; Genauigkeit

Abstract
Die Mikroelektronik und Nanotechnik ermöglichen eine Funktionsintegration und Miniaturisierung von Dimensionen und Präzision. An diesen Anforderungen orientiert sich die Entwicklung künftiger intelligenter Maschinen und Anlagen. Aufgrund dessen muß das Bezugsmaß im Hinblick auf Meßtechnik und Präzision in den atomaren Bereich verlegt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-2581.html