Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Field emitting carbon nanotubes in MEMS-structures for movement sensors

 
: Loschek, S.; Hermann, S.; Haibo, Y.; Schulz, S.E.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2012. Mikromechanik & Mikroelektronik : 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 23./24. Oktober 2012
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2012
ISBN: 978-3-00-039162-0
pp.61-62
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <11, 2012, Chemnitz>
English
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-256533.html