Fraunhofer-Gesellschaft

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Anforderungen an die reine Fertigung im Reinraum / Sauberraum

 
: Bürger, Frank

Schlenker, Dirk (Tagungsleitung) ; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
mikroMontage : Prozesstechnik, Anlagentechnik. 19. und 20. Juni 2013 in Stuttgart
München: Hanser, 2013
20 Folien
Fachtagung mikroMONTAGE <2013, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Mikromontage; Reinstfertigung; Fertigung; Reinraumtechnik

Abstract
In den sogenannten reinen Industrien (Halbleiter, Elektronik, Mikrosystemtechnik, Pharmazie, Biotechnologie, Medizintechnik, Photovoltaik) werden Reinräume zur Sicherstellung der Produktqualität genutzt. Dabei leiten sich aus den technologischen Prozessen die Reinheitsanforderungen ab und bestimmen die reinheitstechnische Auslegung des Reinraumes sowie der Analgentechnik. Die Anforderungen können hierbei sehr unterschiedlich sein und beinhalten verschiedene Reinheitskriterien (Partikel, Ausgasung, Reinigbarkeit, chemische Beständigkeit, elektrostatische Eigenschaften etc.). Die kritischste Kontamination sind häufig Partikel, erzeugt durch den Herstellungsprozess sowie generiert durch mechanischen Abrieb an den Automatisierungskomponenten sowie dem Mensch als Operator. Zur Sicherstellung der erforderlichen Reinheit im Prozess ist die eingesetzte Anlagentechnik zu qualifizieren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-252540.html