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Patente
Thermisch stabiles Schichtsystem zur Reflexion von Strahlung im extremen ultravioletten Spektralbereich (EUV)
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Title
Thermisch stabiles Schichtsystem zur Reflexion von Strahlung im extremen ultravioletten Spektralbereich (EUV)
Date Issued
2004
Patent No
2000-10011547
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Patenprio
DE 2000-10011547 IA: 20000228