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Title
Vorrichtung und Verfahren zum Messen und zur Bestimmung von Ladungstraegerstroemen und davon ableitbaren Groessen in ionen- und plasmagestuetzten Prozessen
Date Issued
2004
Author(s)
Kaiser, N.
Pulker, H.
Strauss, G.
Staerz, R.
Patent No
2002-10258118
Abstract
Es wird eine Vorrichtung zur Messung und Bestimmung von Ladungstraegerstroemen und davon ableitbaren Groessen in ionen- und plasmagestuetzten Prozessen, insbesondere fuer industrielle Beschichtungsanlagen mit mindestens einem als Faraday-Auffaenger ausgebildeten Sensor, der mit einer Auswerte- und Steuereinrichtung zur Bestimmung des Ladungstraegerstroms und/oder davon abgeleiteten Groessen verbunden ist, vorgeschlagen. Der Sensor weist eine Messelektrode und vor die Messelektrode angeordnete Gitter zur Steuerung der auf die Messelektrode aufzutreffenden Ladungstraeger auf und ist modular derart aufgebaut, dass die Gitter und die Messelektrode in Form eines Stacks ueber Abstandselemente als eine Messeinsatzeinheit zusammengefuegt sind, die in einem an einer Stirnseite offenen Gehaeuse aus vakuumvertraeglichem Material aufgenommen ist.
DE 10258118 A UPAB: 20040805 NOVELTY - Device for measuring and determining charge carrier streams and parameters derived from them in ion- and plasma-supported processes comprises a sensor formed as a Faraday collector connected to an evaluation and control device. DETAILED DESCRIPTION - Device for measuring and determining of charge carrier streams and parameters derived from them in ion- and plasma-supported processes comprises a sensor formed as a Faraday collector connected to an evaluation and control device. The sensor has a measuring electrode and a grid (13, 14, 15) arranged in front of the electrode to control the charge carrier on the electrode. The grid and the measuring electrode are joined together in the form of a stack via spacer elements (16) as a measuring insert unit which is received in a housing (19) made from a vacuum-compatible material open on the front side. INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: (1) sensor for measuring ion streams in ion- and plasma-supported processes; and (2) process for determining charge carrier streams and parameters derived from them. USE - Used in industrial coating devices. ADVANTAGE - The device is compact.
Language
de
Patenprio
DE 2002-10258118 A: 20021206