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Verfahren zur Bestimmung von Strukturparametern einer Oberflaeche

Determining structural parameters of surface involves conducting simulation with approximation technique and/or learning system to compute diffraction effects, computationally rigorous optimizing step.
 
: Weidner, A.; Erdmann, A.; Schneider, C.

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DE 2003-10302868 A: 20030125
DE 2003-10302868 A: 20030125
WO 2003-DE4287 A: 20031223
WO 2004068070 A1: 20040812
DE 10302868 A1: 20040805
H01L0021
G01B0011
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()

Abstract
Beschrieben wird ein Verfahren zur Bestimmung von Strukturparametern einer Oberflaeche, bei dem neben der optischen Vermessung periodischer Strukturen auch eine Simulation durchgefuehrt wird bzw. ein lernfaehiges System eingesetzt wird, mit denen die Strukturparameter rechnerisch ermittelt werden. Die mit einer Simulation oder mit einem lernfaehigen System verarbeiteten Eingangswerte werden so lange variiert, bis die errechneten Werte innerhalb einer bestimmten Toleranzgrenze zu den gemessenen Strukturparametern liegen. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Simulation unter Verwendung eines Naeherungsverfahrens und/oder eines lernfaehigen Systems zur Berechnung von Beugungseffekten durchgefuehrt wird und dass die mit dem Naeherungsverfahren und/oder dem lernfaehigen System berechneten Strukturparameter fuer einen Optimierungsschritt, der rigorose Berechnungsverfahren einsetzt, verwendet werden.

 

DE 10302868 A UPAB: 20040901 NOVELTY - The method involves directing a defined light beam(s) at the surface, detecting reflected/transmitted light, determining an imaging rule(s), computing a function by simulation and varying the structural parameter by optimizing so a difference function adopts values lower than boundary function values. The simulation is conducted using an approximation technique and/or learning system. The computed parameters are used in a rigorous optimizing step. DETAILED DESCRIPTION - The method involves directing at least one light beam (2) of defined intensity and polarization towards the surface (4), detecting reflected and/or transmitted light (3), determining at least one imaging rule, computing a function by simulation and varying the definable structural parameter for the simulation by an optimizing technique so that a difference function formed from the imaging rule and functional value adopts values lower than boundary function values. The simulation is conducted by using an approximation technique and/or a learning system to compute diffraction effects. The computed structural parameters are used in an optimizing step using a rigorous computation technique. AN INDEPENDENT CLAIM is also included for the following: (a) an arrangement for implementing the inventive method. USE - For determining structural parameters of surface. ADVANTAGE - Enables the detection of regular structures with an optional measurement structure and rapid evaluation of diffraction effects, enabling integrated measurement during the process.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-24831.html