Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinheitstechnische Trends im Maschinen- und Anlagenbau

 
: Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne

Gommel, Udo (Tagungsleiter) ; VDI-Wissensforum GmbH:
15. VDI-Fachtagung Reinraumtechnik 2013 : Maschinen, Anlagen und Produktionsprozesse im Reinraum, 12. und 13. Juni 2013, Stuttgart
Düsseldorf, 2013
ISBN: 978-3-942980-24-1
pp.1-11
Fachtagung Reinraumtechnik <15, 2013, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reinheitstauglichkeit; Reinheitstechnik; Reinraumtauglichkeit; Standardisierung; Reinraumtechnik; Anlagenbau; Maschinenbau

Abstract
Die Reinraumtechnik hat sich aus einer Vielzahl von Gründen zu einer Schlüsseltechnologie im Bereich Produktion entwickelt. Nur durch den Einsatz von Reinraumtechnik können Trends wie Leistungssteigerung und Miniaturisierung weiterhin aufrechterhalten bleiben und gesetzliche Vorgaben eingehalten werden. Die Aufgabe der Reinraumtechnik besteht vorwiegend in der Minimierung luftgetragener Kontaminationen einer Produktionsumgebung auf ein unkritisches Niveau. Da das Ziel, Kontaminationen in einer reinen Produktion zu kontrollieren, nicht allein durch Einsatz von Reinraumtechnik gewährleistet werden kann, werden eine Vielzahl weiterer reinheitsrelevanter Maßnahmen notwendig, die unter dem Begriff Reinheitstechnik zusammengefasst werden. Zu diesen Maßnahmen zählen Einflussfaktoren wie Personal, Fertigungsanlagen und Logistikabläufe, die einen entscheidenden Anteil zu den Kontaminationen einer reinen Fertigung beitragen. Im Zuge der zunehmenden Automatisierung kommt die größte Bedeutung mittlerweile dem Teilsystem Fertigungsanlagen inklusive der verwendeten Werkstoffe zu. In der Halbleiterproduktion wird dieser Anteil so mittlerweile auf ca. 40 % beziffert. In diesem Zusammenhang ist ein Hauptaugenmerk auf das Equipment-Design zu legen, über das reinheitstaugliche Eigenschaften, bspw. über die Auswahl von geeigneten Werkstoffen oder Anordnung von Komponenten, bereits bei der Konzeption berücksichtigt und optimiert werden können. Je nach Einsatzzweck und Prozess lassen sich hier Faktoren wie Partikelabrieb, Reinigbarkeit, Ausgasungsverhalten, chemische Beständigkeit sowie mikrobiologische Eigenschaften als reinheitskritisch relevant ableiten. Um solche Ergebnisse auch bei der Auslegung und Optimierung von reinheitstauglichen Equipment nutzen zu können, finden aktuell internationale Standardisierungsarbeiten statt, um sowohl Reinheits- als auch Reinraumtauglichkeit von Anlagen und Materialien realitätsnah und vergleichbar nach einheitlichen Methoden zu bestimmen, bspw. in der ISO 14644 Reihe "Cleanrooms and associated controlled environments". Um die nach standardisierten Tests gewonnenen Ergebnisse nutzbringend für das Equipment-Design einsetzen zu können, ist weiterhin der Einsatz von Datenbanken naheliegend, mit denen spezifische Suchabfragen nach reinheitstauglichen Materialien und Equipment durchgeführt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-246963.html