Fraunhofer-Gesellschaft

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Abformtechnologien zur Mikrostrukturierung von Glas

 
: Schubert, A.; Burkhardt, T.

Dötzel, W. ; TU Chemnitz:
Mikrosystemtechnik Chemnitz '03. Mikromechanik & Mikroelektronik : 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003
Chemnitz: Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2003
ISBN: 3-00-011655-9
pp.45-50
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <6, 2003, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWU ()
Mikrosystemtechnik; Abformtechnologie; Heißprägen; anorganisches Glas; mikrostrukturierte Glaswafer

Abstract
Der Einsatz von Abformtechnologien zur Herstellung mikrostukturierter Glaswafer eröffnet ein großes Potential für den breiten Einsatz von Glas in der Mikrosystemtechnik. Es werden Untersuchungen zur Gestaltung eines Heißprägeprozesses unter Nutzung unterschiedlicher Werkzeugtypen durchgeführt und gezeigt , dass sich mittels Heißprägen Wafer aus ausgewählten Glasarten mit hoher Formgenauigkeit mikrostrukturieren lassen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-24650.html