Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mechanische Mikrofertigung - Potentiale trennender und umformender Mikrofertigungsverfahren

 
: Schubert, A.; Burkhardt, T.; Schneider, J.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
pp.151-158
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-24591.html