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Konferenzschrift
Mechanische Mikrofertigung - Potentiale trennender und umformender Mikrofertigungsverfahren
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2001
Conference Paper
Titel
Mechanische Mikrofertigung - Potentiale trennender und umformender Mikrofertigungsverfahren
Author(s)
Schubert, A.
Burkhardt, T.
Schneider, J.
Hauptwerk
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2001
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU