Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Abscheiden von Silizidschichten mittels Arc-Verdampfung

 
: Kolbe, M.; Wolf, R.; Kunat, F.; Grimm, W.; Wielage, B.; Steinhäuser, S.; Reisel, S.

Wielage, B. ; TU Chemnitz-Zwickau, Fakultät für Maschinenbau und Verfahrenstechnik:
Tagungsband zur 4. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" und zum 4. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz : 20. und 21. September
Aachen: Verlag Mainz, 2001 (Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen 7)
ISBN: 3-89653-891-8
pp.54-59
Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik (OWT) <4, 2001, Chemnitz>
Werkstofftechnisches Kolloquium <4, 2001, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWU ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-24553.html