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Konferenzschrift
Interferometrische Prüfung mikromechanischer Komponenten im Waferverband
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2001
Conference Paper
Titel
Interferometrische Prüfung mikromechanischer Komponenten im Waferverband
Author(s)
Aswendt, P.
Schmidt, C.-D.
Zielke, D.
Schubert, S.
Hauptwerk
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2001
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU