Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Compact laboratory EUV-lamps: "In-house beamlines" for technologies based on extreme ultraviolet radiation

 

Knobloch, H.; Kaminorz, Y.:
MicroNano Integration
Berlin: Springer, 2004 (VDI-Buch)
ISBN: 3-540-20252-8
pp.259-261
English
Book Article
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-23489.html