Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Scannende Formprüfung asphärischer Oberflächen Photonik

 
: Schmitt, R.; Riedel, J.; Stürwald, S.; Asfour, J.-M.

Photonik 44 (2012), No.6, pp.54-56
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Das hier vorgestellte neue Verfahren zur Vermessung asphärischer Flächen basiert auf der Kombination eines Laserinterferometers, eines ellipsoiden Spiegels und zwei steuerbaren Kippspiegeln. Dieser Aufbau ermöglicht, den Lichtweg vom Laserinterferometer zur untersuchten Asphärenoberfläche zu erfassen und mit einem simulierten Strahlverlauf für eine Sollfläche zu vergleichen. Die Differenz zeigt die Abweichung der untersuchten Oberfläche von der Sollfläche. Die Vermessung asphärischer Oberflächen ist häufig mit hohem Aufwand und hohen Kosten verbunden. Die üblichen taktilen Verfahren sind einerseits langsam und bergen andererseits die Gefahr der Beschädigung, während bisherige optische Messverfahren auf Basis eines Formprüfinterferometers ein teures computergengriertes Hologramm (CGH) benötigen. Hier wird ein neues Verfahren vorgestellt, welches erlaubt, spiegelnde, asphärische Flächen bei bekannter Sollgeometrie mit moderatem Aufwand und relativ hoher Adaptivität für verschiedene Asphärengeometrien zu vermessen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-234862.html