Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Wafer reclaim in semiconductor manufacturing

 
: Frickinger, J.; Nutsch, A.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Zielonka, G.

:
Fulltext (PDF; )

Verband Deutscher Maschinen- und Anlagenbau e.V. -VDMA-, Frankfurt/Main:
Productronics - Der Branchenführer Elektronikfertigungstechnik : Technologie, Hintergrund, Firmenprofile
Frankfurt am Main: VDMA-Verlag, 2003 (German Technology)
pp.23-28
English
Book Article, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-23480.html