Fraunhofer-Gesellschaft

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CSM - Standardisierung durch die Industrie

Vortrag gehalten auf der Lounges 2013/Vision Pharma 2013, 5. bis 7. Februar 2013, Karlsruhe; Vortrag Session 59: IPA - Materialien und Oberflächen, 7.2.2013
 
: Gommel, Udo

:
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MD5 Fingerprint: 68adec53995ad9a4e6a704bcb7d947db
Created on: 22.3.2013


2013, 38 Folien
Messe "Lounges" <2013, Karlsruhe>
Messe "Vision Pharma" <2013, Karlsruhe>
German
Presentation, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; Reinheitstechnik; chemische Beständigkeit; mikrobiologische Beständigkeit; cleanroom suitable materials (CSM); VDI 2083; Volatile Organic Compounds (VOC); Ausgasung; biologische Resistenz; chemische Resistenz; Tested Device Datenbank; Reinraum; Partikel; Kontamination; Standard

Abstract
Die Reinraumtechnik hat sich aus einer Vielzahl von Gründen zu einer Schlüsseltechnologie im Bereich Produktion entwickelt. Nur durch den Einsatz von Reinraumtechnik können Trends wie Leistungssteigerung und Miniaturisierung weiterhin aufrecht erhalten bleiben und gesetzliche Vorgaben eingehalten werden.
Die Aufgabe der Reinraumtechnik besteht vorwiegend in der Minimierung luftgetragener Kontaminationen einer Produktionsumgebung auf ein unkritisches Niveau. Da das Ziel, Kontaminationen in einer reinen Produktion zu kontrollieren, nicht allein durch Einsatz von Reinraumtechnik gewährleistet werden kann, werden eine Vielzahl weiterer reinheitsrelevanter Maßnahmen notwendig, die unter dem Begriff Reinheitstechnik zusammengefasst werden. Zu diesen Maßnahmen zählen Einflussfaktoren wie Personal, Fertigungsanlagen und Logistikabläufe, die einen entscheidenden Anteil zu den Kontaminationen einer reinen Fertigung beitragen. Im Zuge der zunehmenden Automatisierung kommt das größte Kontaminationspotenzial mittlerweile aber dem Teilsystem Fertigungsanlagen inklusive der verwendeten Werkstoffe zu. In der Halbleiterproduktion wird dieser Anteil so mittlerweile auf ca. 40% beziffert.
Je nach Einsatzzweck und Prozess lassen sich hier Faktoren wie Partikelabrieb, Reinigbarkeit, Ausgasungsverhalten, chemische Beständigkeit sowie mikrobiologische Eigenschaften als reinheitskritisch relevant ableiten. Über die Auswahl von geeigneten Werkstoffen lassen sich diese Eigenschaften bereits bei der Auslegung und Optimierung von Equipment nutzen. Aktuell finden internationale Standardisierungsarbeiten statt, um sowohl Reinheits- als auch Reinraumtauglichkeit von Materialien realitätsnah und vergleichbar nach einheitlichen Methoden zu bestimmen, bspw. in der ISO 14644 Reihe "Cleanrooms and associated controlled environments". Um die nach standardisierten Tests gewonnen Ergebnisse nutzbringend für das Equipment-Design einsetzen zu können, ist weiterhin der Einsatz von Datenbanken naheliegend, mit denen spezifische Suchabfragen nach reinheitstauglichen Materialien und Equipment durchgeführt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-234284.html