Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinraumtauglichkeit von Produktionseinrichtungen und Verbrauchsgütern

Cleanroom suitability of process equipment and consumer goods
 
: Gommel, U.; Schließer, J.

Concept, Heidelberg:
Deutsche Reinraumtechnik Konferenz 1999
Heidelberg: Concept, 1999
Deutsche Reinraumtechnik Konferenz <1999, Mannheim>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Qualifizierung; Reinheitsklasse; Reinraumtauglichkeit; Verbrauchsgüter; Prozeßeinrichtung; Kontaminationsquelle; cleanliness; Cleanroom class; Cleanroom Qualification; Cleanroom suitability; Process Equipment; cleanliness; Reinraum; Prozeß

Abstract
Die Zahl der Prozesseinrichtungen und Verbrauchsgüter, die in reinen Umgebungen (z.B. Mikroelektronik, Pharmazie, Lebensmittelindustrie, Medizintechnik) eingesetzt werden, steigt stetig an. Der Ruf der Hersteller und Anwender nach Klärung der Frage, ob die Prozesseinrichtungen und Verbrauchsgütern den geforderten Reinheitskriterien gerecht werden, wird immer stärker. Hierfür bedarf es standardisierte Prüfungprozeduren für die objektive Qualifizierung des Kontaminationsverhalten von Prozesseinrichtungen und Verbrauchsgütern sowie einer abschließenden Bewertung.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-224.html