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Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3

Application of measurement procedures and devices to qualify cleanrooms
 
: Schließer, J.

Dorner, J. ; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Technische Akademie Esslingen -TAE-, Weiterbildungszentrum:
Produzieren unter reinen Bedingungen : Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends. Lehrgang, 3. März 1999, Ostfildern
Ostfildern, 1999
Lehrgang Produzieren Unter Reinen Bedingungen <1999, Ostfildern>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reinraumabnahme; Reinraumklasse; Leckagetest; Partikelmeßtechnik; Cleanroom class; particle measurement; Leakage Test; Cleanroom Qualification; Airflow Pattern; Strömungsform; Reinraum; Inbetriebsetzung

Abstract
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten Laminar Flow-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Vorgehensweisen der Abnahmemessungen eingegangen, die sich weitgehend an der VDI-Richtlinie 2083, Blatt 3 orientieren. Weitere abnahmespezifische Richtlinien und Normen werden Auszugsweise mit einbezogen. Die Abnahme eines Reinraumes ist prinzipiell ein formaler Akt, dem üblicherweise Abnahmemessungen vorangestellt werden. Mit Hilfe von Messungen muß der Reinraumhersteller gegenüber dem Nutzer nachweisen, daß er alle Spezifikationen des Reinraumes unter den vereinbarten Betriebsbedingungen erfüllt. Um Abnahmemessungen durchzuführen, müssen Umfang und Art der Messungen zwischen Betreiber und Reinraumhersteller vereinbart werden. Hierbei gilt es auch die Betriebsart des Reinraumes, die nach Blatt 1 der VDI-Richtlinie 2083 definiert ist, für die Ab-nahme festzuschreiben. Die Betriebsarten beschränken sich hierbei auf drei Zustände.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-223.html